德國Pfeiffer普發TMH521分子泵維修,Pfeiffer TMH521普發渦輪分子泵進氣法蘭口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F，出氣法蘭口DN 25 ISO-KF，DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可達到290L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可達到510L/s，833HZ轉速為50000 rpm，550HZ轉速為33000 rpm，極限真空5X10-10 mbar,對應的控制器為：Pfeiffer TC600等。