Agilent Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以工作在高氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中。此外，它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Ｗo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。

特性：

1、*款為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的分子泵解決方案

2、現(xiàn)有的高性能、緊湊的儀器

3、首個(gè)采用完全集成的方法很大程度提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的渦輪分子泵

4、將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身

5、通用電子器件接口并配有操作簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)以及 RS232/RS485 接口等標(biāo)準(zhǔn)配置

6、安捷倫 Profibus 接口（可選）

7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus）