哈默納科離子束加工諧波FB-20-128-2-GR
    發布者:bangtian  發布時間:2022-05-20 16:45:29  訪問次數:101

    品牌 其他品牌 貨號 123
    規格 FB-20-128-2-GR 供貨周期 一個月以上
    主要用途 設備 應用領域 電子
    名稱 哈默納科 用途 半導體、機器人、機械設備
    材質 是否進口
    哈默納科離子束加工諧波FB-20-128-2-GR可產生徑向彈性變形并帶有外齒的柔輪和一個裝在柔輪內部、呈橢圓形、外圈帶有柔性滾動軸承的波發生器。

    早期的掃描電子束曝光采用圓形束斑。為提高生產率又研制出方形束斑,其曝光面積是圓形束斑的25倍。后來發展的可變成形束,哈默納科離子束加工諧波FB-20-128-2-GR其曝光速度比方形束又提高2倍以上。面曝光是使電子束先通過原版,這種原版是用別的方法制成的比加工目標大幾倍的模板。再以1/5一1/10的例縮小投影到電致抗蝕劑上進行大規模集成電路圖形的曝光。

    一、離子束加工的基本原理和特點

       1.基本原理

       離子束加工是利用離子束對材料進行成形哈默納科離子束加工諧波FB-20-128-2-GR或表面改性的加工方法。在真空條件下,將由離子源產生的離子經過電場加速,獲得具有一定速度的離子投射到材料表面,產生濺射效應和注入效應。由于離子帶正電荷,其質量比電子大數千、數萬倍,所以離子束比電子束具有更大的撞擊動能,它是靠微觀的機械撞擊能量來加工的。

       離子束加工的物理基礎是離子束射到材料表面時所發生的撞擊效應、濺射效應和注入效應。具有一定動能的離子斜射到工件材料〔靶材)表面時,可以將表面的原子撞擊出來,這就是離子的撞擊效應和濺射效應。                                   

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