INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)采用當(dāng)今市場(chǎng)上的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。 不銹鋼傳感器單元堅(jiān)固耐用，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，例如前級(jí)真空管。

益處

• 英福康B-A型真空計(jì) INFICON BAG402:

  INFICON BAG402中真空至***真空真空計(jì)：

  INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402，測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝，在***、可重復(fù)的工藝過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。***的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更***的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性 和長(zhǎng)使用壽命。

  益處：

  • 測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

  • ***可重復(fù)性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%

  • 過(guò)壓檢測(cè)保護(hù)，防止燈絲燒毀

  • 兩根長(zhǎng)壽命氧化銥燈絲

  • 發(fā)射電流選擇，降低控制的繁瑣

  • 植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的***性，并且易于更換

  • 符合RoHS

  典型應(yīng)用：

  • 半導(dǎo)體工藝和傳送腔室的壓強(qiáng)測(cè)量

  • 工業(yè)鍍膜

  • 從低真空到***真空范圍的普通真空測(cè)量及控制

  IKR251英福康冷陰極真空計(jì)  INFICON緊湊型冷陰極電離真空計(jì)，測(cè)量范圍2 x 10-9 至10-2mbar。  特點(diǎn)  無(wú)燈絲-冷電離  抵抗空氣涌入  耐腐蝕  運(yùn)行狀態(tài)指示燈  倒置磁控管

   

  型號(hào) 密封		IKR251 FPM
  測(cè)量范圍		2 × 10E-9至10E-2 mabr
  精度（N2） 10E-8至10E-2 mbar		≈±30%讀數(shù)
  重復(fù)性		≈±5%讀數(shù)
  輸出信號(hào)		+1.8V至+8.5V
  電源電壓 功率		+15至+30Vdc ≤2 W
  電氣連接件		Pfeiffer 6腳
  工作溫度		+5至+55℃
  安裝方位		任何