氣體傳感器種類

半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變化；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結型二極管以場效應管MSFET，它利用敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。

氣體傳感器樣式

1、靈敏度

當氫氣濃度較低時，氫氣敏MOSFET靈敏度很高，1ppm氫氣濃度變化，△UT值可10mV，當氫氣濃度較高時，傳感器靈敏度會降低。

2、對氣體性

鈀原子間“空隙”恰能讓氫原子通過，因此，鈀柵只允許氫氣通過，有很性。

3、響應時間

這種器件響應時間受溫度、氫氣濃度影響，溫度越高，氫氣濃度越高，響應越快，常溫下響應時間為幾十秒。

可見，在一定溫度下，固定PO21，有上式可出傳感器極待測氧氣濃度。除測氧外，β一Al2O3、碳酸鹽、NASICON等固體電解質傳感器，還可用來測CO、SO2、NH4等氣體。近年來還出現銻酸、La3F等可在低溫下氣體傳感器，并可用于正離子。

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