美國InstruTech真空計

天津賽力斯自動化科技有限公司是一家集研發、工程、銷售、技術服務于一體的現代化企業，“賽力斯=的自動化設備供應商”的品牌理念已經深入人心。公司主要經營歐、美、日等發達國家的機電一體化設備、高精度分析檢測儀器、環境與新能源工業設備及電動工具等工控自動化產品。憑借的技術與商務團隊，公司在為客戶帶來優質產品的同時，還可提供自動化工程技術服務及成套解決方案。

InstruTech公司位于美國的科羅拉多州，是致力于真空測量和控制儀器的設計、制造和服務的公司。InstruTech公司的真空計采用先進的真空技術設計，可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的測量范圍。InstruTech公司的真空計和真空控制器系列產品包括：增強型皮拉尼真空計，熱陰極電離真空計（hot cathode Bayard-Alpert）和冷陰極雙控磁電離真空計。InstruTech公司的理念是提供多功能，極高可靠性的高性價比真空計。因此，InstruTech所提供的真空計及真空控制器極大程度上節約了成本，從而提高產品的性價比。InstruTech真空計主要用于：半導體制備、薄膜沉積、數據存儲設備制造、政府和學術研究機構、分析化學、真空加工、工業中。

真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。

產品范圍：

美國InstruTech真空計、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech電離真空計、InstruTech增強型對流真空計

電離儀表

對流和皮拉尼電容測量儀

電容隔膜計

機架/面板安裝真空儀表控制器

主要型號：

IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301

B-RAX? 3000系列：B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200

美國InstruTech CCM501冷陰極雙反磁控管電離真空計簡介：

產品特點：

寬泛的測量范圍：1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr

內置控制器及OLED數字顯示

用戶可根據需求對單位（Torr，mbar，Pa ）進行變換

雙反磁控管技術提供增強的敏感性

傳感器可輕松拆卸清洗

改進傳感器信噪比為整個測量范圍提供了穩定性

配置3個對數線性模擬輸出，3個設定點繼電器和標準RS485串行接口

可選擇多種尺寸的配件—NW16KF，NW25KF，NW40KF，1 1/3 in. Mini- Conflat®，和2 3/4 in. Conflat®

技術參數：

測量范圍 1×10-8～1×10-2Torr 

1.3×10-8～1.3×10-2mbar

1.3×10-6～1.3Pa

精確度（N2） +30%

重復測量誤差 +5%

顯示 明亮黃色OLED顯示，2位數字+1位指數，可變換單位

過壓保護 廠家默認設定在5 x 10-10 Torr儀器關閉

內部容積 1.965 in3（32.2 cm3）

溫度 工作溫度：0~40℃   存儲環境溫度：-40~70℃

烘烤溫度 150℃（僅限于表，電子元件不可）

濕度 0~95% RH，非冷凝

重量 配置NW25KF法蘭：1.7 Ib.（0.77kg）

串行通信接口 標準 RS485，小指令間隔：50 ms

燈絲控制 選擇1個還是2個燈絲工作，通過操作顯示屏按鈕調節，或者通過RS485串行通訊

輸入功率 20-28VDC，7.2W（max）

美國InstruTech BA603電離真空計簡介：

產品特點：

電阻熱及電子轟擊兩種除氣方式

寬泛的量程 ：4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr

堅固的雙螺旋鎢網格

可選擇多種法蘭接口：3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®

技術參數：

測量范圍 4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr 

5.3 x 10-10to 1.3 x 10-3 mbar 

5.3 x 10-8 to 1.3 x 10-1 Pa

精確度 +20% of reading

X射線極限 24x 10-11 Torr

除氣-電子轟擊 100W（max）

除氣-電阻熱 6.3-7.5 VAC，10A

燈絲電流 4.0-6.0 A

燈絲電壓 3.0-5.0 V

燈絲電位 +30 VDC

柵極電位 +180 VDC

收集極電位 0V

烘烤溫度 450℃

收集極 鎢絲，直徑0.010 in.

燈絲 單根/雙根 鍍銥（或鎢）氧化釔

柵格 堅固的雙螺旋鎢制  0.025 in.

絕緣元件 陶瓷

長度 全長 6.0 in.

可選法蘭 3/4 in. diameter Kovar 

1 in. diameter Kovar

NW25KF, NW40KF

1 1/3 in. Mini-Conflat® 

2 3/4 in. Conflat®

美國InstruTech VCG301 真空控制器產品特點：

寬泛的測量范圍

可控制CVG101真空傳感器

使用更省空間的1/8 針面板

可任意更換單位（Torr/mTorr, bar/mbar, Pa）

1個模擬輸出，2個設定點繼電器，RS232/RS485串行通訊接口

可以與GP Convectron真空傳感器配合使用

VCG301 真空控制器技術參數：

測量范圍 1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr 

1.3 x 10-4 ~ 1333 mbar  

1.3 x 10-2 ~ 133 kPa

顯示 OLED,4位數字 

（ 4 位數字從 100mTorr 到 1100Torr ； 3 位數字從 10.0 到 100mTorr ； 2 位數字從 1.0 到 10mTorr ）

顯示更新率 0.5秒

重量 9 OZ.（250g）

工作溫度 0-40℃

工作濕度 0-95%，非冷凝

電子連接器 真空傳感器： 9- 針 D 型 內螺紋 

模擬輸出和數字串口： 9- 針 D 型外螺紋 

繼電器輸出： 6- 針接線盒 

電源：通用的交流和 2- 針直流接線盒

輸入功率 12-30VDC，2W（max）

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