旋片式真空泵多為中小型真空泵。旋片式真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片式真空泵，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片式真空泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和 20%。 雙級泵工作原理圖，它由兩個單級泵串聯組成。工作時，被抽氣體首先經吸氣筒進入高真空級。當吸入氣體壓強較高時，一部分氣體由排氣閥2排出，另一部分氣體經低真空級，由排氣閥1排出。 當吸入氣體壓強較低時，雖經高真空級壓縮，但排氣閥2仍不能打開排氣，只能經低真空極繼續壓縮，由排氣閥1排出，因雙級泵的極限真空比單級泵高。
1.停旋片式真空泵將熱油放掉。2.旋上放油塞運轉5—10秒。3.將油放盡。4.注入清洗用油(32號普通機械油)到油窗高度的3/4處。5.運轉XD旋片式真空泵5—10分鐘。6.停泵，將油放掉。如油尚不能達到要求，重復4、5步驟。7.旋上放油塞運轉5—10鈔。8.將油放盡。如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0．6bar(表壓力)時更換排氣過濾器。9.注入規定的新旋片式真空泵油。
一、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運轉中排氣口冒煙或者噴油。1、冒煙，如果是泵剛剛開始運轉有冒煙的現象，屬于正常，如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結束。2、噴油，說明進氣口外有大量的漏點，甚至是進氣口暴露大氣。解決之道：封住泵的進氣口使泵運轉，如果不噴油的話，說明有漏點；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。