英國Edwards高真空泵

英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設備直到現在，包含半導體與新興技術、 一般真空產品和服務（售后支持），這些業務在其所服務的市場上不斷發展。英國Edwards產品是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中不可缺少的部分，應用于日益多范圍化的工業過程，包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學；適用于科學儀器和許多研發應用。

我們的目標是您的業務成功。您的Edwards設備的性能可實現這一點，以確保工具正常運行時間，晶圓產量，操作和對環境的影響小。

捕獲泵技術可為從便攜式質譜儀到大型粒子加速器的各種應用創建高真空（HV）和高真空（UHV）環境。它們可以經濟的方式產生盡可能低的真空度。

離子泵

離子泵，也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽極/陰極陣列使氣體電離的捕獲泵。離子濺射反應性陰極材料，產生化學反應，將離子化的氣體變成固體化合物。這些化合物不再有助于真空系統的壓力，而是捕獲在離子泵中。離子泵可在10 -5至10 -12 mbar的壓力下運行，大小范圍為0.2至1,200 l / s的氮氣。

鈦熱升華泵

TSP的工作方式是加熱鈦絲并將鈦分子升華（從固相轉變為氣相）到表面上。然后可以將升華的鈦分子與反應性氣體（例如氧氣和氮氣）進行化學反應，并解離并擴散氫。TSP可以在10 -5到10 -12 mbar之間運行，抽速超過10,000 l / s的氫氣。

不可蒸發的吸氣泵

NEG是已被壓在固體基材上或燒結成圓盤的活性金屬。已發現鋯，釩和鐵的特定組合適合于HV和UHV環境。所使用的材料量控制著NEG泵的速度和容量，但通常范圍為55至412 l / s，容量為630至3600 Torr l / s。當NEG充滿氣體時，可以重新激活它們而無需排入大氣。

高真空泵的主要特點

消除機械振動

捕獲泵沒有活動部件。消除了運動部件產生的振動和電氣噪聲

高輻射耐受性

捕獲泵由耐輻射材料超過108 Gray制成。連接器和電纜還采用耐輻射材料制成，可連續運行多年

耐高溫

無需特別考慮，捕獲泵可以烘烤至250°C。取下磁體可使高溫烘烤達到450°C。長時間熱烘烤對于每個特高壓系統都至關重要

消除了定期維護

捕獲泵幾乎不需要維護，并且避免了昂貴的真空事件，因為它們與大氣隔絕，節省了時間和資源

初期運營成本低

初始成本通常低于其他類型真空泵的可比規格。多年來低成本運行，它們消耗的功率很少或沒有功率