針對(duì)化工廠廢氣種類以及其中含有的成分，在對(duì)其進(jìn)行處理的時(shí)候可以采用多種廢氣處理工藝進(jìn)行凈化，如光氧催化廢氣處理設(shè)備、低溫等離子廢氣處理設(shè)備、RTO蓄熱燃燒設(shè)備、活性炭吸附箱、水噴淋廢氣處理設(shè)備等。

首先，化工廠產(chǎn)生的廢氣經(jīng)收集后進(jìn)入噴淋塔廢氣處理設(shè)備中，經(jīng)過(guò)填料層，廢氣與氫氧化鈉吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，用以去除酸性污染物及顆粒物。經(jīng)過(guò)第一層凈化后的廢氣進(jìn)入到低溫等離子廢氣處理設(shè)備中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。
這種組合型廢氣處理工藝將兩種廢氣處理設(shè)備相結(jié)合，更具有針對(duì)性，凈化效果要比單一的廢氣處理設(shè)備更顯著。化工廠廢氣處理的相關(guān)方法，可參考化工廠廢氣處理。