通過電磁作用，將擋板轉動，擋板移近左邊噴嘴時,該噴嘴的泄油面積減小,使流量減小,噴嘴前的油壓P1升高；與此同時右邊噴嘴與擋板的距離增大,流量增加, 噴嘴前的油壓P2降低。由于擋板兩側噴嘴前的油壓與下部滑閥的端部油室是相通的, 當兩只噴嘴前的油壓不相等時,則滑閥兩端的油壓P1、P2也不相等,P1>P2，差壓導致滑閥5向右邊移動，使滑閥凸肩控制的油口開大，P4壓力油進入P5中，P5與油動機活塞下部相連,控制通往油動機活塞下腔的高壓油,使油動機活塞上升，開大汽閥。
電液伺服閥一般按力矩馬達型式分為動圈式和永磁式兩種。傳統的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。）在結構改進上，主要是利用冗余技術對伺服閥的結構進行改造。由于伺服閥是伺服系統的核心元件，伺服閥性能的優劣直接代表著伺服系統的水平。另外，從可靠性角度分析，伺服閥的可靠性是伺服系統中*重要的一環。由于伺服閥被污染是導致伺服閥失效的*主要原因。對此，國外的許多廠家對伺服閥結構作了改進，先后發展出了抗污染性較好的射流管式、偏導射流式伺服閥。
壓電元件的特點是“壓電效應”：在一定的電場作用下會產生外形尺寸的變化，在一定范圍內，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應使壓電材料產生伸縮驅動閥芯移動。實現電-機械轉換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產生壓差推動閥芯移動。壓電式電-機械轉換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應用。它具有頻率響應快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應用。