由于通過機(jī)械式觸針追蹤表面進(jìn)行直接測(cè)量，輪廓法的測(cè)量數(shù)據(jù)具有可靠性。在可預(yù)見的將來，輪廓法可能仍是經(jīng)常使用的測(cè)量技術(shù)。該方法的缺點(diǎn)在于觸針可能會(huì)損壞被測(cè)表面，因此不適用于軟質(zhì)材料。另外，由于測(cè)量表面根據(jù)單一截面的紋理信息進(jìn)行評(píng)估，數(shù)據(jù)未必能夠體現(xiàn)出整個(gè)表面區(qū)域的不規(guī)則特征。與此相比，大多數(shù)非接觸式三維測(cè)量?jī)x器均可在不損壞測(cè)量表面的情況下對(duì)軟質(zhì)材料進(jìn)行測(cè)量。并且三維數(shù)據(jù)采集能夠測(cè)量大尺寸區(qū)域的表面特征，用戶能夠獲得使用輪廓法無法測(cè)量的平行溝槽和劃痕方向信息。區(qū)域法能夠提供的信息非常豐富，并可建立表面功能要求（如耐磨性、固體間粘附性和潤(rùn)滑劑保持能力）與表面參數(shù)之間的關(guān)聯(lián)。
從傳統(tǒng)上講，表面結(jié)構(gòu)參數(shù)是根據(jù)輪廓曲線（由曲面交點(diǎn)確定的曲線）確定的。這種測(cè)量方法的正式名稱為輪廓法，也被稱為線粗糙度測(cè)量。表面輪廓通常使用觸針式測(cè)量?jī)x器進(jìn)行測(cè)量。ISO和其他一些國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)均適用于這種測(cè)量方法。
時(shí)至今日，表面結(jié)構(gòu)參數(shù)越來越多地通過包含豐富區(qū)域信息的三維表面結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)獲得，而不再使用測(cè)量二維輪廓曲線的輪廓法。這種測(cè)量方法被稱為區(qū)域法。在大多數(shù)情況下，區(qū)域法需要使用基于光學(xué)觀測(cè)的非接觸式測(cè)量?jī)x器。