日本toray-eng東麗半導體以及液晶和電子元件的相關應用介紹
    發布者:深圳市秋山貿易有限公司  發布時間:2020-11-12 14:07:24  訪問次數:23

    日本toray-eng東麗半導體以及液晶和電子元件

     

    MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

    氧氣表MS-500

    MS-500

    • 最多可以同時測量8個點
    • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
    • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
    • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
    • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

    MS-500設備規格

    測量原理氧化鋯輕型電池
    形狀分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
    顯示方式4位數字顯示(密度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
    自動范圍
    重復性在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高
    ±1%FS或以下或± 
    0.1ppm范圍內0-1%小于0-1ppm,大于atm范圍不在保證的濃度范圍內
    測量點數1-8
    樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(絕對壓力)
    流量0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態的測量)
    濕度露點低于環境溫度
    溫度0-100℃
    其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
    比較氣大氣層
    記錄儀輸出僅變速箱輸出
    變速箱輸出RS-232C
    報警輸出沒有
    熱身時間6分鐘以內
    尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
    MS-510(轉換器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
    傳感器單元SD16NW總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
    SD25NW總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
    SD40NW總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
    大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
    MS-510(轉換器)約0.5kg
    傳感器單元SD16NW約0.2Kg
    SD25NW約0.2Kg
    SD40NW約0.35Kg
    外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
    使用電源24VDC±10%

    氧氣計LC-450A,LC-450D

    LC-450A,LC-450D


    • 可以顯示多種濃度,從在多種濃度下測量的ppm水平到100%。
    • 改進的傳感器耐用性
      氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
    • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
      * LC-450D由24V DC驅動
    • 緊湊且易于安裝
      深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
    • 符合RoHS的產品
    • CE標志自我聲明產品
      EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

    LC-450A設備規格

    測量原理氧化鋯輕型電池
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式4位數字顯示(密度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0ATM自動范圍
    重復性在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
    取樣方式內置泵的連續吸入型
    樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
    流量1,000-2,000毫升/分鐘
    濕度露點低于環境溫度
    溫度0-50℃
    其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
    比較氣大氣層
    記錄儀
    輸出
    氧氣濃度輸出在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負載電阻550Ω或更小
    記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
    輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
    變速箱輸出RS-232C
    報警輸出失敗(設備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
    設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)
    ALM(濃度警報)2點(H / L)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
    發生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
    RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
    • 無電壓觸點的最小開關容量為12V或更高,并且無法承受微小的負載。
    MRK(范圍標記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
    熱身時間5分鐘以內
    尺寸身體210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)
    大眾約6kg
    氣體
    連接口
    進口Rc1 / 4
    旁路輸出Rc1 / 4
    出口Rc1 / 4
    使用電源100-240VAC,50VA(穩定:35VA)50Hz / 60Hz

    LC-450D設備規格

    測量原理氧化鋯輕型電池
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式4位數字顯示(密度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0ATM自動范圍
    重復性在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
    取樣方式內置泵的連續吸入型
    樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
    流量?1,500L /分鐘
    濕度露點低于環境溫度
    溫度0-50℃
    其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
    比較氣大氣層
    記錄儀
    輸出
    氧氣濃度輸出0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高
    (選件:4-20mADC,絕緣,負載電阻550Ω或更低)
    記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
    輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
    變速箱輸出RS-232C
    報警輸出失敗(設備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
    設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)
    ALM(濃度警報)2點(L / LL)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
    發生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
    RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
    在預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
    • 非電壓觸點的最小開關容量為12V或20mA或更高,并且無法承受微小的負載。
    MRK(范圍標記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
    熱身時間5分鐘以內
    尺寸身體240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)
    大眾約5kg
    氣體
    連接口
    進口Rc1 / 8
    旁路輸出Rc1 / 8
    出口Rc1 / 8
    使用電源24VDC±10%,1.25A(30VA,穩態)

    氧氣計LC-860

    LC-860

    • 低濃度測量
      可以測量ppb到100%
    • 操作簡便
      按功能可輕松操作
    • 吹掃功能
      比較氣體更穩定,測量更驚鵲(僅適用于具有吹掃功能的規格)
    • 高可靠性傳感器傳感器
      內部還可以進行防劣化處理(可選)

    LC-860設備規格

    測量原理氧化鋯輕型電池
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式6位數字顯示(密度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
    自動/固定范圍
    重復性
    氧氣濃度在±1%FS之內且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
    取樣方式內置泵的連續吸入型
    樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
    流量?1,500mL /分鐘
    濕度露點低于環境溫度
    溫度0-50℃
    其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
    比較氣大氣層
    記錄儀
    輸出
    氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA 
    :絕緣,負載電阻為600Ω或更低
    0-10V:絕緣,負載電阻為500Ω或更高
    記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
    輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍
    變速箱輸出RS-232C
    報警輸出失敗(設備錯誤)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
    設備異常導致觸點閉合(可以更改接點操作)
    ALM(濃度警報)2分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
    發生警報時,觸點閉合(可以更改觸點操作)
    RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小
    預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
    • 無電壓觸點的最小開關容量為12V或更高,并且不能承受微小的負載。
    MRK(范圍標記)輸出3分非電壓接點,接點容量24VDC / AC以下,0.1A以下
    熱身時間20分鐘以內
    尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
    大眾約10kg
    氣體
    連接口
    進口Rc1 / 8
    旁路輸出Rc1 / 8
    出口Rc1 / 4
    使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的

     日本toray-eng東麗半導體以及液晶和電子元件

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