Z2S6A3-6X/傳統(tǒng)的電液伺服閥中最典型也最常用的是雙噴嘴擋板式滑閥力反饋伺服閥，它采用力矩馬達(dá)作為電-機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置，雙噴嘴擋板閥為液壓放大元件，力反饋桿與彈簧管構(gòu)成機(jī)械反饋。雖然力矩馬達(dá)具有固有頻率高、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)，但為了限制非線(xiàn)性，力矩馬達(dá)銜鐵的輸出位移一般都很小，制造精度要求高，力反饋桿與彈簧管構(gòu)成的機(jī)械反饋使得力矩馬達(dá)的抗污染性差，價(jià)格高。
　　動(dòng)圈式力馬達(dá)在氣隙中運(yùn)動(dòng)時(shí)不改變氣隙的長(zhǎng)度，具有位移量大的特點(diǎn)，用力馬達(dá)直接驅(qū)動(dòng)滑閥，可以增加閥的抗污染能力。早期的動(dòng)圈式力馬達(dá)伺服閥，由于為了充分利用力馬達(dá)的線(xiàn)性，閥芯行程大，對(duì)中彈簧的剛度一般較小，而動(dòng)圈與先導(dǎo)閥芯連接在一起，運(yùn)動(dòng)部分質(zhì)量大，致使力馬達(dá)的頻率低，響應(yīng)速度慢。隨著電子技術(shù)與傳感器技術(shù)的發(fā)展，通過(guò)提高動(dòng)圈式力馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)電流來(lái)加大力馬達(dá)的輸出力已不再困難，利用先進(jìn)的位移檢測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)閥芯位置的高精度檢測(cè)不僅可行而且經(jīng)濟(jì)，因此近年來(lái)，數(shù)百赫茲以上高頻響大流量伺服閥幾乎都采用動(dòng)圈式力馬達(dá)結(jié)構(gòu)。本文以日本KYB工業(yè)株式會(huì)社生產(chǎn)的MK伺服閥為例，分析動(dòng)圈式伺服閥的特點(diǎn)及其檢測(cè)問(wèn)題。
2　MK閥及其放大器的特點(diǎn)

　　MK電液伺服閥是一種全電反饋、二級(jí)驅(qū)動(dòng)、雙位置閉環(huán)的電液伺服閥。它具有高頻響、高精度、抗污染性好、性能穩(wěn)定等特點(diǎn)。與力反饋相比，采用電反饋不僅簡(jiǎn)化了伺服閥的結(jié)構(gòu)，而且為用電氣參數(shù)來(lái)改變閥的特性提供了技術(shù)基礎(chǔ)。

　　伺服閥由先導(dǎo)閥、主閥和減壓閥等組成。先導(dǎo)級(jí)主要有：動(dòng)圈力馬達(dá)、滑閥以及電渦流位移傳感器等組成，電氣部分是完全干式，動(dòng)圈運(yùn)動(dòng)時(shí)直接推動(dòng)閥芯移動(dòng)，閥芯的位移由嵌入式電渦流位移傳感器檢測(cè)反饋到放大器的輸入端形成電氣閉環(huán)。這種直動(dòng)加電氣反饋的方式，使得其結(jié)構(gòu)特別簡(jiǎn)單，大大提高了可靠性。主閥由先導(dǎo)級(jí)驅(qū)動(dòng)，主閥芯與嵌入式差動(dòng)變壓器位移傳感器的鐵芯相連接，主閥芯的位移由差動(dòng)變壓器位移傳感器檢測(cè)，反饋到放大器的輸入端形成第二級(jí)

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